Selle sünteesimeetodis kasutatakse keemiliseks reaktsiooniks peamiselt elementaarset räni ja lämmastikku temperatuuril 1300 kuni 1400 kraadi Celsiuse järgi ning seejärel saadakse räninitriidi. Seda saab sünteesida ka diimiini kaudu või kasutada süsinikku. Termiline redutseerimisreaktsioon sünteesitakse lämmastiku all temperatuuril 1400 kuni 1450 kraadi Celsiuse järgi. Karbotermiline redutseerimisreaktsioon on lihtne viis ja kulutõhus vahend räninitriidi pulbri valmistamiseks tööstuses.
Kui soovite räninitriidi sadestada pooljuhile, võite kasutada madala rõhuga keemilist aurustamise-sadestamise tehnoloogiat suhteliselt kõrgel temperatuuril, kasutades vertikaal- või horisontaaltoruahju, või kasutada plasmaga täiustatud keemilise aurustamise-sadestamise tehnoloogiat suhteliselt kõrgel temperatuuril. . Teostage madala vaakumi all. Kuna räninitriidi ühikuelemendi parameetrid erinevad elementaarse räni omadest, tekitab genereeritud räninitriidi kile pinget või pinget sõltuvalt sadestamismeetodist. Eriti kui kasutatakse plasmaga täiustatud keemilist aurustamise-sadestamise tehnoloogiat, saab seda reguleerida. Seega vähendavad sadestamise parameetrid pinget.
Granuleeritud räninitriid on raskesti töödeldav ja seda ei saa kuumutada üle sulamistemperatuuri, sest sulamistemperatuuri ületamisel laguneb räninitriid räniks ja lämmastikuks, mistõttu tuleb sellele töötlemisel tähelepanu pöörata.
